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来源：???BP????
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2006?12???????????????????????????????????2007?????????????????2012????????????????
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??????????????????????????????????????????????????????????????????????Electronics& Optoelectronics Research Lab.?EOL????????????ITRI South?IS??Mechanical and Systems Research Lab.?MSL????????????Center for Measurement Standards?CMS?????????????Material and Chemical Research Lab.?MCL???????????????????
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???????????????370mm470mm????????????3124m2???????????????????????????????????????????????????????????TFT???????????????CVD????????Ion Shower????????????????????????????
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